合肥：“爱心冰柜”城市温度的“青春聚变”

DuMate原生支持 Word、Excel、PPT 等主流办公软件。内置百度搜索Skill，也让DuMate拥有更强的理解能力和更好的任务完成率。另外，DuMate也支持用户按需灵活扩展优质Skills。

目前百度龙虾全家桶，涵盖云端虾、手机虾、安全虾、桌面虾及全球首款家用小龙虾等产品，可以满足不同场景下的龙虾使用需求。

安全？它比你更谨慎

针对目前龙虾的安全风险痛点，DuMate提供了完善的解决方案，实现多重防护。

一方面，DuMate通过预装安全沙箱，实现与本机设备环境隔离，代码、任务、文件闭环执行，不影响本地环境、不扩散风险、不泄露数据。

另一方面，针对文件删除、系统修改、数据外发等高风险操作，DuMate会强制用户明确授权后才执行。同时，DuMate还具备文件夹级权限管控、操作全程可审计等企业级场景能力。

三个绝活 专治办公“不想动”

DuMate以自然语言为交互入口，能自主完成跨应用、跨文件的复杂任务。不仅能听懂你的话，还能真正把事做完。

文件智能管理：文件夹再乱，它帮你捋顺，提取、归档一气呵成，秒变有序知识库。

多源数据分析：多源数据自动清洗、关联计算、可视化——结论直接甩你桌上，省去手动折腾。

办公操作自动化：填表、查询、发送……它模拟人工跑流程，你负责点头——AI来干，你来审。

用一次是工具 一百次是知己

DuMate不仅理解字面指令，更能结合上下文与用户习惯，变成持续进化型助手。

今天让它整理报告，明天它记得你爱的格式；这周让它分析数据，下周它主动提醒你更新。不是助手，是搭子！ 日复一日，默契共生，越来越懂你～

一个彩蛋：

你现在看的这篇文章——从写稿、排版，到公众号上传，由DuMate自主完成。AI不只是"对话"，更是能端到端交付任务的"搭子"！

现在，即可到dumate.baidu.com官网领取你的可信赖的龙虾。

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戴冕 (巴县人)

这是一款以变成鬼魂的少女为主角的，选择指令式的冒险游戏。 通过与心爱的“他”进行各种各样的互动，实现她的愿望是游戏的目标。具体来说，可以和他对话、引发诡异现象、出现在梦中、施加诅咒等。

有一天，你变成了鬼魂。虽然不知道接下来该怎么办才好， 但你从来没做过亏心事， 一定可以去天国吧。 你对此坚信不疑。但是，kimi没有看见你。 kimi从来没有忽视过你。 你突然觉得，有点害怕去天国了。

天国就算再好，如果没有kimi， 那一定就是个比地獄更惨的地方。kimi没有看见你。 既然我不能去见kimi…… 那就让kimi来见我吧。在天国之门开启之前， 我一定要把kimi带到我这边来。我要杀了我最喜欢的kimi。

像素风点击式冒险《亡灵装饰》4月17日登陆主机平台

倪麗雅

原泰久

拉赫达尔·卜拉希米

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用

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